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13册 半导体芯片和制造 理论和工艺实用指南+干法刻蚀技术原子层工艺+先进封装技术+工程导论+氮化镓功率晶体管器件电路与应用书籍
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半导体干法刻蚀技术（原书第2版） [日] 野尻一男
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